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晶圆夹具组件
产品名称:晶圆夹具组件
材料:316L不锈钢
尺寸:360*400*200mm
处理方法:5轴CNC加工
产品特点:
该晶圆夹具组件通过先进的5轴数控集成加工制造，克服了传统的加工限制，完美满足晶圆处理的纳米级精度要求。
为了实现微米级的几何公差，多轴同步技术实现了全方位的精密切割，在一次设置中完成多表面高光加工，消除了重新定位误差。材料应力模拟优化了切削参数，确保结构稳定性和抗变形性，同时符合洁净室无尘和无污染标准。
实时过程检测和智能补偿系统保证临界尺寸精度在 ± 0.002毫米和Ra ≤ 0.1微米的表面粗糙度。该组件为晶圆转移和定位提供了零缺陷的可靠性，展示了我们公司在高精度半导体设备制造方面无与伦比的专业知识。
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