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真空室组件
产品名称:真空室组件
材料:316L不锈钢
尺寸:450 × 430 × 220mm
处理方法:5轴CNC加工
产品特点:
我们的5轴数控加工真空室展示了卓越的精密制造技术能力。专为满足半导体设备对气密密封 (± 0.005mm几何公差) 和超清洁表面的严格要求而设计，我们实现了复杂曲率、专用流道、和高精度接口通过多轴同步加工，消除了重新定位误差。
专用工具和温度控制工艺克服了薄壁不锈钢加工中的变形挑战。结合镜面抛光和颗粒控制技术，我们保证ra ≤ 0.1 μ m的表面粗糙度，确保在10？6 Pa真空环境中的稳定性。
通过专有的CAM编程优化和实时检测系统，我们实现了99% 的复杂结构成品率。该解决方案为半导体设备制造商提供了核心腔室组件，可提供极高的精度和可靠性，为真空关键应用设定了新的标准。
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